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无尘车间最·主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
单向流(层流)无尘车间原理
在无尘车间内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化,加上进风静压箱和高效过滤器的均压均流作用,全室断面上的流速比较均匀,而至少在工作区内流线单向平行,没有涡流。这也就是单向流无尘车间的三大特点。这里的流线单向平行,是指时均流线彼此平行,方向单一。
单向流无尘车间的流态从雷诺数判断是紊流的,所以所谓层流无尘车间的层流和流体力学上的层流是完全不同的概念。因此,层流无尘车间这个名词是不贴切的,国外某些标准和文章也指出这一点,例如英国标准bs-5295就曾把所谓层流无尘车间定义为单向流无尘车间,只是照顾xi惯在括号中注明为层流。
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